Особенности современных технологий изготовления изделий полупроводниковой силовой электроники

Силовая электроника, 2014-№3Белоус А. Прибыльский А.Современный уровень развития технологий микроэлектроники не только позволяет создавать интегральные схемы, стоящие из нескольких миллионов транзисторов, но и обеспечивает возможность реализации на одном полупроводниковом кристалле ранее несовместимых элементов с различными электрическими характеристиками-низковольтные и высоковольтные, низкочастотные и высокочастотные. В частности, это позволило создать новый класс микросхем-интеллектуальные интегральные схемы силовой электроники.